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    設備介紹
    GNX300B
    l日本OKAMOTO生產
    l減薄尺寸：8”~12”
    l極限減薄厚度：100um
    l轉速：0~3600rpm
    l最小移動量：1um
    l單片誤差：10um內
    l片間誤差：±5um內
    VG502-MKII 8B
    l日本OKAMOTO生產
    l減薄尺寸：5”~8”
    l極限減薄厚度：100um
    l轉速：0~3600rpm
    l最小移動量：1um
    l單片誤差：10um內
    l片間誤差：±5um內
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